プロセス制御

菓子袋の湿気防止対策として施されるアルミ蒸着フィルムを作る装置の制御プログラムです。センサーから得られる透過率に基づいて、フィルムの巻取り速度とアルミの蒸発速度を調整しながら所定の膜厚を一定に保つ制御をPLCを経由して行なっています。成膜中はセンサーの値やPLCに指示している値を表示して、モニタリングやチューニングを行える様になっています。

技術要素

GPIB通信、PLC通信（シリアル）

スパッタ源からの飛来粒子をガラス基板に付着して膜が成長する過程で、光学的極値（ターニングポイント）を捕らえて粒子を遮る板を制御することにより多層の光学フィルターを作るプログラムです。

技術要素

シリアル通信、DIO、科学計算